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1nm Feedback Stage
High resolution feedback stage with 5-phase stepping motor, built-in glass scale, and CE/UKCA marking. The built-in optical glass scale provides high positional repeatability and high resolution.
The 1 nm Feedback Stage is available in 6 different table sizes.
Ball screw drive allows longer travel than piezo stages, and a wide variety of travel and table sizes can be selected.
A plugin for the "Autoconfig" function is equipped for user convenience.
Controllers compatible with the Feedback Stage (NFS series) are available.
| Model | Stage Size(mm) | Travel(mm) | Positioning Accuracy(μm) | Positional Repeatability(μm) | Micro-range Bi-directional Repeatability(nm) | VS | Unit Price | Date | Cart | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
NFS60-20UPX |
75×60 | 20 | 1 | 0.4 | ±4 |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS60-20UPX
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NFS60-40UPX |
110×60 | 40 | 1 | 0.4 | ±4 |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS60-40UPX
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NFS100-50UPX |
100×100 | 50 | 1 | 0.4 | ±3 |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS100-50UPX
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NFS100-100UPX |
175×100 | 100 | 2 | 0.4 | ±3 |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS100-100UPX
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NFS120-50UPX |
120×120 | 50 | 1 | 0.4 | ±3 |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS120-50UPX
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NFS120-100UPX |
175×120 | 100 | 2 | 0.4 | ±3 |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS120-100UPX
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