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10nm Feedback Stage
High resolution feedback stage with 5-phase stepping motor, built-in glass scale, and CE/UKCA marking. The built-in optical glass scale provides high positional repeatability and high resolution.
The 10 nm Feedback Stage is available in 8 different table sizes.
Ball screw drive allows longer travel than piezo stages, and a wide variety of travel and table sizes can be selected.
A plugin for the "Autoconfig" function is equipped for user convenience.
Controllers compatible with the Feedback Stage (NFS series) are available.
| Model | Stage Size(mm) | Travel(mm) | Positioning Accuracy(μm) | Positional Repeatability(μm) | Load Capacity(N) | VS | Unit Price | Date | Cart | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
NFS60-20PX |
75x60 | 20 | 1 | 0.5 | 49（5.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS60-20PX
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NFS60-40PX |
110x60 | 40 | 1 | 0.5 | 49（5.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS60-40PX
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NFS100-50PX |
100x100 | 50 | 1 | 0.5 | 98（10.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS100-50PX
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NFS100-100PX |
175x100 | 100 | 2 | 0.5 | 98（10.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS100-100PX
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NFS120-50PX |
120x120 | 50 | 1 | 0.5 | 98（10.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS120-50PX
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NFS120-100PX |
175x120 | 100 | 2 | 0.5 | 98（10.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS120-100PX
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NFS180-200PX |
230x180 | 200 | 2 | 0.6 | 196（20.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS180-200PX
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NFS180-300PX |
330x180 | 300 | 2 | 0.6 | 196（20.0kgf） |
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Login | Contact Us | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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/NFS180-300PX
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