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50nm Feedback Stage
High resolution feedback stage with 5-phase stepping motor, built-in glass scale, and CE/UKCA marking. The built-in optical glass scale provides high positional repeatability and high resolution.
The 50 nm Feedback Stage is available in 8 different table sizes.
Ball screw drive allows longer travel than piezo stages, and a wide variety of travel and table sizes can be selected.
A plugin for the "Autoconfig" function is equipped for user convenience.
Controllers compatible with the Feedback Stage (NFS series) are available.
| Model | Resolution (whole step/half step)[μm/pulse] | VS | Unit Price | Date | Cart | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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NFS60-20X |
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/NFS60-20X
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NFS60-40X |
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/NFS60-40X
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NFS100-50X |
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/NFS100-50X
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NFS100-100X |
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/NFS100-100X
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NFS120-50X |
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NFS120-100X |
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NFS180-200X |
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NFS180-300X |
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