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50nm Feedback Stage
High resolution feedback stage with 5-phase stepping motor, built-in glass scale, and CE/UKCA marking. The built-in optical glass scale provides high positional repeatability and high resolution.
The 50 nm Feedback Stage is available in 8 different table sizes.
Ball screw drive allows longer travel than piezo stages, and a wide variety of travel and table sizes can be selected.
A plugin for the "Autoconfig" function is equipped for user convenience.
Controllers compatible with the Feedback Stage (NFS series) are available.
| Model | Travel(mm) | Stage Size(mm) | Feed Screw(mm) | Resolution (whole step/half step)[μm/pulse] | Load Capacity(N) | VS | Unit Price | Date | Cart | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
NFS60-20X |
20 | 75x60 | 滚珠丝杠直径φ4、导程1 | 2/1 | 49（5.0kgf） |
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/NFS60-20X
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NFS60-40X |
40 | 110x60 | 滚珠丝杠直径φ4、导程1 | 2/1 | 49（5.0kgf） |
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/NFS60-40X
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NFS100-50X |
50 | 100x100 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | 2/1 | 98（10.0kgf） |
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/NFS100-50X
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NFS100-100X |
100 | 175x100 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | 2/1 | 98（10.0kgf） |
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/NFS100-100X
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NFS120-50X |
50 | 120x120 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | 2/1 | 98（10.0kgf） |
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/NFS120-50X
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NFS120-100X |
100 | 175x120 | 滚珠丝杠直径φ8、导程1 | 2/1 | 98（10.0kgf） |
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/NFS120-100X
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NFS180-200X |
200 | 230x180 | 滚珠丝杠直径φ10、导程2 | 4/2 | 196（20.0kgf） |
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/NFS180-200X
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NFS180-300X |
300 | 330x180 | 滚珠丝杠直径φ10、导程2 | 4/2 | 196（20.0kgf） |
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/NFS180-300X
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